平面度(Flatness) : 平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量。 平面度误差是将被测实际
表面与理想平面进行比较,两者之间的线值距离即为平面度误差值;或通过测量实际表面上若干点的相对高度差,再换算以线值表示的平面度误差值。
平行度( Parallelism) :用符号//表示。平行度指两平面或者两直线平行的程度,指-一个平面 (边)相对于另-一个平面(边)平行的误差允许值。平行度公差是-种
定向公差, 是被测要素相对基准在方向上允许的变动全量。所以定向公差具有控制方向的功能,即控制被测要素对准基准要素的方向。
垂直度(Perpendicularity):用符号l表示。垂直度评价直线之间、大理石构件生产厂平面之间或直线与平面之间的垂直状态。其中-个直线或平面是评价基准, 而直线可以是被测
样品的直线部分或直线运动轨迹,平面可以是被测样品的平面部分或运动轨迹形成的平面。
直线度( Straightness) : 用符号一表示。 限制实际直线对理想直线变动量的一种形状公差。由形状(理想包容形状)、大小(公差值)、方向、位置四个要素组
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